目前各大厂商对于7nm制程的需求与日俱增,由此让台积电等晶圆代工厂供不应求,芯片的订单早已排列至几个月之后,而现在台积电正式宣布基于最新的7nm+工艺已经开始大批量供应给客户使用,采用的是EUV技术,同时台积电也是世界上首个实现EUV极紫外光刻技术工艺商业化的厂商。
虽然EUV光刻技术到2019年才实现大规模的商用化,但是实际上早在20世纪80年代关于EUV光刻技术已经被研发完毕,当时的半导体企业希望将该技术用于70nm工艺制程,然而由于光刻机等的技术限制,EUV技术一直没有得到发展和应用。晶圆厂商只能使用沉浸式光刻、双重乃至多重曝光来提升工艺制程。
台积电在新闻中称今年的第二季度,台积电就已经实现了7nm+工艺的量产,同时良品率也大大提升,与初代7nm制程没有太大的差距。从性能表现上来看,7nm+工艺能够在相同条件下获得比7nm高出15-20%的晶体管密度。
除了7nm+制程之外,台积电也已经公布了接下来的工艺路线图,未来还将有6nm、5nm、3nm甚至2nm,对于台积电也表示6nm工艺制程将会在2020年年底开始量产。
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