光刻机作为芯片制造最核心的设备，如果没有光刻机，芯片制造就是纸上谈兵。缺乏先进光刻机就是目前大陆芯片制造发展面临最大的挑战，此前光刻机采购也屡屡受阻。

不过，全球光刻机巨头阿斯麦ASML全球副总裁、中国区总裁沈波近日接受采访时表示，对中国出口集成电路光刻机持开放态度，在法律框架下全力支持。同时明确表明，目前ASML除了EUV（极紫外线）光刻机无法对中国客户供货外，其他产品都可以正常供货。

目前ASML占据全球80%的光刻机市场，毋庸置疑的霸主地位。而ASML在中国装机量已经接近1000台，中国市场占据了ASML全球30%的出货量，也是一个很大的市场。尤其是现在国内芯片行业快速发展进步，对于光刻机的需求也将越来越大，中国市场对于ASML来说会越发重要。 

此前大陆晶圆代工龙头中芯国际向ASML预订了大量DUV（深紫外光）光刻机，总价值近12亿美元。如果沈波所言属实，那就意味着DUV光刻机不受美国制裁影响能够正常发货，那么中芯国际在深圳、上海等地的扩产计划就能够顺利展开，从而获得更好的发展机会。